【导语】当协作机器人涉足微米级精密作业领域，DD马达的角秒级旋转精度成为关键挑战。这一难题的破解，得益于激光干涉技术的精准助力。SJ6000激光干涉仪搭配角度反射镜组与WR50自动精密转台，以±1″的测量精度和0.01″的分辨力，确保DD马达旋转精度无忧。从汽车装配到芯片制造，精密测量仪器正默默支撑起协作机器人的高效精准运行，引领产业升级新篇章。
当协作机器人需要执行微米级的精密任务时，一个隐形挑战浮出水面：如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。
解决方案：
SJ6000激(jī)光(guāng)干(gàn)涉(shè)仪(yí)+角(jiǎo)度(dù)反(fǎn)射(shè)镜(jìng)组(zǔ)+WR50自(zì)动(dòng)精(jīng)密(mì)转(zhuǎn)台(tái)，测(cè)量(liàng)精(jīng)度(dù)：±1″；分(fēn)辨(biàn)力(lì)：0.01″。
DD马(mǎ)达(dá)旋(xuán)转(zhuǎn)角(jiǎo)度(dù)测(cè)量(liàng)示(shì)意(yì)图(tú)
测量流程：
将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。
激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。
补偿前数据
补偿后数据
从汽车工厂的装配线到无尘室里的芯片制造，协作机器人正以人类般的灵巧重塑产业。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默(mò)守(shǒu)护(hù)，为(wèi)协(xié)作(zuò)机(jī)器(qì)人(rén)的(de)安(ān)全高(gāo)效(xiào)精(jīng)准(zhǔn)运(yùn)行(xíng)保(bǎo)驾(jià)护(hù)航(háng)。
