【导语】在微米级精密作业的挑战下，协作机器人的核心动力单元DD马达旋转精度成为关键。如何确保其达到角秒级精度？SJ6000激光干涉仪携手角度反射镜组与WR50自(zì)动(dòng)精(jīng)密(mì)转(zhuǎn)台(tái)，以(yǐ)±1″的(de)测(cè)量(liàng)精(jīng)度(dù)和(hé)0.01″的(de)分(fēn)辨(biàn)力(lì)，揭(jiē)示(shì)了(le)答(dá)案(àn)。从(cóng)汽(qì)车(chē)装(zhuāng)配(pèi)到(dào)芯(xīn)片(piàn)制(zhì)造(zào)，激光干涉仪等精密测量仪器正默默守护着协作机器人的高效精准运行，重塑产业未来。
当协作机器人需要执行微米级的精密任务时，一个隐形挑战浮出水面：如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。
解决方案：
SJ6000激光干涉仪+角度反射镜组+WR50自动精密转台，测量精度：±1″；分辨力：0.01″。
DD马达旋转角度测量示意图
测量流程：
将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。
激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。
补偿前数据
补偿后数据
从汽车工厂的装配线到无尘室里的芯片制造，协作机器人正以人类般的灵巧重塑产业。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默守护，为协作机器人的安全高效精准运行保驾护航。
